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超純水制取設備的工藝流程

更新日期:2021年1月16日 大字 小字
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超純水制取設備的工藝流程


電子半導體行業超純水制取設備的工藝流程:

  晨興水處理公司技術人員針對電子光學半導體行業選用以下工藝,采用的是二級反滲透+EDI裝置+核能拋光混床作為系統的主脫鹽設備;系統運行費用低,易于實現自動化,反滲透水處理系統具有很好的經濟性。該工藝的特點先進、成熟、出水水質穩定、系統運行穩定,反滲透+EDI脫鹽裝置

原水箱→原水泵→全自動多介質過濾器→全自動活性炭過濾器→還原劑加藥裝置→全自動軟化過濾器→保安過濾器→一級高壓泵→一級反滲透系統→一級RO水箱→PH調節裝置→二級高壓泵→二級反滲透系統→二級RO純水箱→EDI增壓泵→UV殺菌器→脫氣膜→精密過濾器→EDI裝置→EDI純水箱→純水泵→拋光混床→0.22u膜過濾器→生產線用水點

電子半導體行業超純水制取設備的工藝介紹

1.預處理:主要是去除水中的有機物、懸浮物、膠體、硬度和余氯等,以確保RO能正常工作。處理工藝采用多介質過濾,活性炭吸附,樹脂交換鈣鎂離子及相關藥劑,以減少RO工作時產生垢物和藻類生長及微生物污染及氧化劑

預處理系統包括:原水箱、原水泵、加藥系統、多介質過濾、活性碳過濾、軟化器、保安過濾器。

反滲透裝置:反滲透裝置是該項目預脫鹽的心臟部分,經反滲透處理的水,能去除絕大部分無機鹽,微生物等。設計的合理與否直接關系到項目的投資費用、整個系統運行的經濟效益、使用壽命、操作的可靠簡便性。反滲透膜均采用先進的低壓復合膜,單根脫鹽率達99.8%。當系統設計溫度為20℃時,考慮到原水水質變化以及膜的使用壽命等因素,本系統采用8英寸的復合RO膜,安裝在不銹鋼壓力容器內?;厥章剩?0%~75%,脫鹽率:98%。RO系統回收率在50%~75%以上,系統脫鹽率不小于98%。在本項目中考慮到設備的節能、運行壓力、膜的透過濾、膜的脫鹽率、出水的含鹽量等因素,我公司推薦采用美國海德能、陶氏、東麗、GE、時代沃頓匯通等品牌的反滲透膜。

EDI裝置:EDI電除鹽系統是結合了電滲析與離子交換的優點克服了二者存在的缺點的新技術,edi超純水處理工藝穩定的工作狀態,有效的延長了EDI的使用壽命,并降低用戶的運行成本。其工作原理是三個過程,一是在直流電場作用下,水中電解質通過離子交換膜發生選擇性遷移;二是陰陽離子交換樹脂對水中電解質進行著離子交換,并構成“離子通道”;三是離子交換樹脂界面水發生極化所產生的H+和OH-對交換樹脂進行著電化學再生。

拋光混床:拋光混床又稱一次性混床,一般情況用在高純水制取的工藝末端,用來更進一步提高產水水質。拋光混床中的拋光樹脂是不能再生重復使用的,所謂拋光的意思就是樹脂的表面處理情況。


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